主要性能和指标:
1.分辨率:高真空模式:3.0nm(30kV),8nm(3kV),15nm(1kV)
2.放大倍数:X8至X10000;放大倍数预设,5档可选
3.加速电压:0.5kV到30kV
4.样品台:大全对中型,X=80mm,Y=40mm,Z=5mm到48mm;倾斜:-10°到+90°,旋转360°
5.最大样品:150mm
6.探头:二次电子探头和背散射探头;可将二次电子和背散射电子信号按照任意比例混合
主要功能和服务范围:
扫描电镜主要用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织,并对材料表面微区成分进行定性和定量分析,主要用途如下:
1. 无机或有机固体材料断口、表面形貌、变形层等的观察和机理研究
2. 金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定
3. 观察陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料表面的形貌
4. 金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定
5. 研究晶体的生长过程、相变、缺陷、无机或有机固体材料的粒度观察和分析
6. 进行材料表面微区成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、线、点分布分析
厂家/型号:
日本电子/JSM6390LV